製造技術

写真「NTTデバイスオプテックの事業所内の様子」

弊社クリーンルーム

主要装置
ガラス成膜装置
フォトリソグラフィ装置
エッチング装置
各種検査装置

基本技術

ガラス製造技術火炎堆積（FHD）法など

写真「ガラス製造の様子」

LSI製造技術フォトリソグラフィ、ドライエッチング

写真「基盤」

光導波路ウェハ

ウェハの拡大写真

光導波路製造は、光ファイバ製造技術（VAD法）を応用した厚膜ガラス成膜技術（FHD法）とLSI製造技術を組み合わせて実現しています。

加工技術

電子顕微鏡による拡大写真「導波路加工」

導波路加工例 ①

電子顕微鏡による拡大写真「導波路加工」

導波路加工例 ②

電子顕微鏡による拡大写真「ライン＆スペースその１」

ライン & スペース ①

電子顕微鏡による拡大写真「ライン＆スペースその２」

ライン & スペース ②

電子顕微鏡による拡大写真「溝加工」

溝加工

電子顕微鏡による拡大写真「リッジ加工」

リッジ加工

ページの先頭へ